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服務(wù)電話: 010-67529703
主營產(chǎn)品: Flexcell細(xì)胞力學(xué)和regenhu細(xì)胞3D生物打印機(jī)銷售技術(shù)服務(wù): 美國Flexcell品牌FX-5000T細(xì)胞牽張應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),F(xiàn)X-5K細(xì)胞顯微牽張應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),Tissue Train三維細(xì)胞組織培養(yǎng)與測試系統(tǒng),F(xiàn)X-5000C三維細(xì)胞組織壓應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),STR-4000細(xì)胞流體剪切應(yīng)力加載培養(yǎng)系統(tǒng),德國cellastix品牌Optical Stretcher高通量單細(xì)胞牽引應(yīng)變與分析系統(tǒng) Regenhu品牌3D discovery細(xì)胞友好型3D生物打印機(jī),piuma細(xì)胞納米壓痕測試分析、aresis多點力學(xué)測試光鑷,MagneTherm細(xì)胞腫瘤電磁熱療測試分析系統(tǒng)
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大功率直流磁控濺射鍍膜機(jī),帶旋轉(zhuǎn)臺

  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:大功率直流磁控濺射鍍膜機(jī),帶旋轉(zhuǎn)臺
  • 產(chǎn)品型號:VTC-16-SM
  • 產(chǎn)品展商:MTI
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹

VTC-16-SM是一種高功率 臺式磁控等離子體濺射鍍膜機(jī) ,具有 2英寸水冷靶頭,水冷卻器和可旋轉(zhuǎn)的樣品架。鍍膜單元 設(shè)計用于鍍膜所有直徑達(dá)4英寸的晶片( 包括Zn,Al)的金屬膜,鈦和碳輕質(zhì)薄膜,價格合理。包括一個鋁 目標(biāo),可立即使用。

產(chǎn)品描述

VTC-16-SM是一種高功率  臺式磁控等離子體濺射鍍膜機(jī) ,具有  2英寸水冷靶頭,水冷卻器和可旋轉(zhuǎn)的樣品架。鍍膜單元 設(shè)計用于鍍膜所有直徑達(dá)4英寸的晶片(  包括Zn,Al)的金屬膜,鈦和碳輕質(zhì)薄膜,價格合理。包括一個鋁 目標(biāo),可立即使用。自2015年5月18日起,該產(chǎn)品不再隨附標(biāo)準(zhǔn)包裝的真空泵。

規(guī)格書
輸入電壓
  • 220伏交流50 / 60Hz 
  • 使用1000 W變壓器(15 A保險絲可提供110 V電源  。變壓器售  。
輸出功率
  • 1600伏直流電
  • 250瓦
  • *大150 mA
  • 內(nèi)置過電流保護(hù)  (> 150 mA)
標(biāo)本室
  • 石英玻璃管,外徑165 mm。X 150毫米ID x 250毫米高度
  • 單擊此處訂購石英腔室更換件。

濺射頭和
標(biāo)本臺

  • 包括帶有水冷套的2英寸柔性磁控濺射頭(圖1)
  • 一個直徑為50 mm的不銹鋼 樣品臺可旋轉(zhuǎn)0-5 RPM
  • 一個手動操作的百葉窗用于目標(biāo)保護(hù)。(圖2)
  • 濺射頭支架可用于在不操作時固定濺射頭。
  • 濺射頭與樣品臺之間的距離可在60-100 mm之間調(diào)節(jié)。
  • *大涂層面積: *大直徑為4英寸 
  • 包括一臺  10 L / min流量的冷空氣循環(huán)水冷卻器,  用于冷卻濺射頭。(圖6)
             1.     2.     3.     4.     5. 6。        
控制面板
  • 6英寸彩色觸摸屏控制面板,帶PLC集成,易于操作
  • 一個用于所有參數(shù)監(jiān)視和控制的面板:真空,電流。
*限真空壓力
  • 內(nèi)置KF25真空端口
  • 該系統(tǒng)需要帶有壓力調(diào)節(jié)器的Ar氣罐。(不包含)
  • <1.0E-2 Torr由葉片真空泵(不包括)提供,用于Au,Ag,Pt,Cu,Mo目標(biāo)(對空氣不敏感)
  • 渦輪分子泵的不大于 1.0E-5 Torr  (不包括),  用于Al,Mg,Li,Lr,Ti,Zn靶(對空氣敏感)
  • 抽真空過夜并烘烤,*低真空度可達(dá)到<4.0E-6 Torr
                     
氣體氣氛
  • 安裝了一個針閥以允許Ar氣體進(jìn)入以獲得更好的等離子涂層
  • 系統(tǒng)需要帶有壓力調(diào)節(jié)器的Ar氣罐(不包括在內(nèi))

目標(biāo)
  • 包括一個2英寸銅 靶 進(jìn)行測試,靶尺寸:2英寸直徑x 2.5毫米。 
  • 它也可以涂覆幾乎每種金屬材料的Ag,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn,Li,Mg 等。   
  • 警告:本機(jī)可以涂覆鋁,鉻或鎳靶 ,但在使用前請查看推薦的涂覆方法。
  • 請使用RF等離子磁控濺射法涂覆氧化鋁
                                  
可選的膜厚監(jiān)測儀
  • 膜厚監(jiān)控器是可選的,但需額外付費(fèi)(有關(guān)詳細(xì)信息,請單擊圖1。有關(guān)圖像,請參見圖2,3,4)
  •  可根據(jù)要求提供高達(dá)500 °C 的可加熱樣品臺,需要額外付費(fèi)
  • 可根據(jù)要求提供用于**控制進(jìn)氣的流量計,但需要額外付費(fèi)。
            1.      2.     3.       4         
外形尺寸
  •   長440毫米×寬330毫米×高290毫米
凈重
  • 20公斤
運(yùn)輸重量和尺寸
  • 160磅
  • 45英寸x 45英寸x 40英寸
操作說明
          
合規(guī)
  • CE認(rèn)證
  • NRTL認(rèn)證暫時不可用。
保證
  • 一年有限,終身支持
應(yīng)用須知
  • 警告:濺射頭連接到高電壓。操作人員在操作過程中必須戴手套
  • 在涂覆之前,請確保靶,濺射頭,基材和加熱臺是干凈的,每次使用時都需要使用砂紙和酒精清潔和清潔鋁或鎳靶。
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