• 單相220 VAC 50/60 Hz
• 2000 W（包括真空泵和冷水機）

• 三個濺射電源集成到一個控制箱中（單擊下面的圖片查看詳細(xì)規(guī)格）
• 直流電源：500 W功率，用于涂覆金屬材料（圖1）
• 射頻源：功率為300 W，頻率為13.56 MHz，用于涂覆非導(dǎo)電材料（圖片2）

          -圖片1-            圖片2     

磁控濺射頭

• 包括三個帶水冷套和百葉窗的2英寸  磁控濺射頭（單擊左側(cè)**個圖片）
• 目標(biāo)尺寸要求：2英寸直徑
• 厚度范圍：對于金屬靶和非導(dǎo)電靶（包括墊板），厚度范圍為0.1-5 mm
• 包括一個不銹鋼靶  和一個研究級Al2O3靶 用于演示測試
• 可根據(jù)要求提供可選的2英寸濺射靶（或墊板），但需額外付費。
• 推薦的濺射配方和有用的技巧
• 定制涂布機：兩個DC-一個RF；2個RF-1個DC；三直流；三個射頻（請從產(chǎn)品選項中選擇）
• 可選： 可以訂購148厘米的RF電纜，但需要支付額外的費用才能進行更換（請從右向右依次單擊**張照片）

             

    

真空室

• 真空室：直徑300毫米 x 300毫米高度，由不銹鋼制成
• 視口：兩片100毫米直徑。玻璃。一個固定；一根可拆卸的清潔和更換件
• 帶有氣動桿的鉸接式蓋 使目標(biāo)易于更換

樣品臺

• 樣品架是由帶銅蓋的陶瓷加熱器制成的可旋轉(zhuǎn)且可加熱的載物臺
• 樣品架尺寸：直徑140毫米。對于。*大4“晶圓
• 旋轉(zhuǎn)速度：1-20 rpm可調(diào)，均勻涂層
• 支架溫度可通過數(shù)字溫度控制器在RT至*大500°C（*大2 hr）范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，精度為+/- 1.0°C

氣體流量控制

• 安裝了兩個精密質(zhì)量流量控制器（MFC），以允許兩種氣體進入
  
• 流速：0 – 200 mL / min和0 – 100ml / min在觸摸屏控制面板上可調(diào)
• 安裝了進氣閥以釋放真空

• 包括一個移動泵站。濺射涂布機可以放在工作站的頂部
• 速度為80L / S的高速渦輪泵   與兩級機械泵（220 L / min）相結(jié)合，可實現(xiàn)*大真空度和更快的抽速
• 與腔室相連的標(biāo)準(zhǔn)真空度：<4.0E-5托。
• 可選，需額外付費
• 如果選擇  150L / S的高速渦輪泵，真空室的真空度可達10-6托。 
• 對于高達10 ^ -7托的超高真空，需要700S / L渦輪泵 
•  150L / S高速渦輪泵  70 0L / S高速渦輪泵         

• 包括一臺數(shù)字溫度控制的  循環(huán)水冷卻器  。 （點擊圖片查看詳情）
• 制冷范圍：5?35°C
• 流量：16 L / min
• 泵壓力：14 psi

• **的石英膜厚度監(jiān)測器  是可選的，它可以放入腔室中以0.10?的精度監(jiān)測涂層厚度
• 精密  薄膜和涂層分析系統(tǒng)-EQ-TFMS-LD  需額外付費
• 可根據(jù)要求提供各種2“氧化物和金屬靶材，但需要額外付費。可以在MTI訂購環(huán)氧銀和銅背板

             

外形尺寸

                                        
          蓋子關(guān)閉：48“  ×28”  ×32“蓋子打開：  48”  ×28“×37”

涂布機凈重

• 160公斤

運輸重量和尺寸

• 總共3個托盤
• 365磅，48英寸x 40英寸x 45英寸
  
• 390磅，48英寸x 40英寸x 49英寸
  
• 210磅，48英寸x 40英寸x 30英寸
  

合規(guī)

• CE認(rèn)證
• 可根據(jù)要求提供NRTL認(rèn)證，但需要額外收費，請聯(lián)系我們的銷售代表以獲取報價。

保證

• 一年有限保修，提供終身支持

操作指令

應(yīng)用說明