• 5個(gè)磁控濺射槍?zhuān)捎糜?種不同的靶材
• 根據(jù)所使用的電源（RF或DC），可以沉積金屬和非金屬材料。 
• 能夠?yàn)R射5種靶材以通過(guò)不同的濺射時(shí)間/速率產(chǎn)生各種成分
• 使用可選的5個(gè)電源，  可以同時(shí)濺射5種靶材，以進(jìn)行組合濺射
• 可以使用掩模和旋轉(zhuǎn)樣品架分批沉積16個(gè)樣品

• 單相220 VAC，50/60 Hz
• 1000 W（包括真空泵和冷水機(jī)）

• 隨附一臺(tái)13.5 MHz，300 W自動(dòng)匹配RF發(fā)生器并將其連接到濺射頭
• 可旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)可以一次激活一個(gè)濺射頭。可以在多層工藝中在不破壞真空的情況下“在等離子體中”切換濺射頭。
• 多個(gè)RF電源是可選的，允許用戶(hù)同時(shí)濺射多靶材以進(jìn)行組合濺射
• 帶有控制軟件的筆記本電腦需要額外付費(fèi)才能控制每個(gè)RF噴槍的濺射時(shí)間和功率

• 您可以選擇用于金屬靶濺射的直流電源
• 使用五個(gè)DC或RF電源，可以同時(shí)濺射5種靶材以進(jìn)行組合濺射

磁控濺射頭

• 包括五個(gè)帶水冷套的1“磁控濺射頭（單擊Pic＃1了解詳細(xì)信息），并通過(guò)快速夾具插入石英室
• 可以在MTI購(gòu)買(mǎi)更換射頻電纜（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊圖片＃2 ）
• 法蘭上裝有一個(gè)手動(dòng)操作的百葉窗（請(qǐng)參閱圖3）    
• 包括一個(gè)10 L / min的數(shù)控循環(huán)水冷卻器，用于冷卻濺射頭（單擊Pic＃4  了解詳細(xì)信息）

  （1）

  （2）

  （3）

  （4）

濺射靶

• 目標(biāo)尺寸要求：1英寸直徑x 1/8英寸*大厚度
• 濺射距離范圍：50 – 80 mm可調(diào)
• 濺射角度范圍：0 – 25°可調(diào) 
• 包括1“直徑的銅靶和Al ₂ O ₃  靶，用于演示測(cè)試
• 可應(yīng)要求提供各種氧化物的1“濺射靶材，但需額外付費(fèi)
• 對(duì)于目標(biāo)鍵合，包括1毫米和2毫米的銅墊板。可以在MTI訂購(gòu)環(huán)氧銀（Pic＃1）和額外的銅墊板（Pic＃2）

• 真空室由帶加強(qiáng)筋的304不銹鋼制成 
• 內(nèi)部真空室尺寸：  470毫米長(zhǎng)×445毫米深×522毫米高   （?105升，18.5“ x17.5” x 20.5“）
• 圓形380毫米直徑 帶150毫米直徑玻璃窗的鉸鏈?zhǔn)介T(mén)
• 溫度范圍：-15至150°C
• 真空度：  渦輪泵為4.0E-5 torr

樣品架

• 直徑150毫米的可旋轉(zhuǎn)樣品架，可一次涂覆16種樣品，組成不同
• 樣品架和面罩的旋轉(zhuǎn)可以通過(guò)按鈕手動(dòng)控制，也可以通過(guò)控制軟件自動(dòng)控制（可選）
• 樣品架溫度可在RT至*大600°C范圍內(nèi)調(diào)節(jié) 

• 內(nèi)置KF40真空端口，用于連接真空泵。
• 隨附緊湊型渦輪泵（單擊左側(cè)圖片查看規(guī)格）
• 帶可選渦輪泵的4.0E-5 Torr   （單擊下面的圖片）   

• 精密石英厚度傳感器是可選的（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊Pic＃1）。它可以?xún)?nèi)置在腔室中，以0.1?的精度監(jiān)控涂層厚度（需要水冷） 
• 易于通過(guò)USB連接到PC進(jìn)行遠(yuǎn)程厚度和涂層速度監(jiān)控
• 包括5個(gè)石英傳感器（消耗性） 
• 

凈重

• 60公斤

合規(guī)

• CE認(rèn)證
• 可應(yīng)要求提供MET認(rèn)證（UL 1450），但需要額外收費(fèi)，請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售代表以獲取報(bào)價(jià)。 

保證 

• 一年有限保修，提供終身支持 

應(yīng)用須知
  

• 這款緊湊的1英寸RF磁控管濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)用于在通常不需要高真空設(shè)置的氧化物單晶襯底上涂覆氧化物薄膜
• 為了**使用，應(yīng)在氣瓶上安裝兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器（不包括），以將氣體的輸出壓力限制在0.02 MPa以下。請(qǐng)使用> 5N純度的Ar氣體進(jìn)行等離子濺射
• 為了獲得*佳的薄膜與基材的粘合強(qiáng)度，  請(qǐng)  在涂覆前清潔基材表面  ：
• 用以下連續(xù)浴進(jìn)行超聲波清洗（單擊Pic＃1進(jìn)行訂購(gòu)）-（1）丙酮，（2）異丙醇-除去油和油脂。用氮?dú)獯蹈苫?，然后在真空中熱烘烤以除去吸收的水?/span>
• 表面粗糙化，表面化學(xué)鍵活化或其他污染物去除可能需要等離子清潔（單擊Pic＃2進(jìn)行訂購(gòu)）
• 可以使用諸如Cr，Ti，Mo，Ta之類(lèi)的薄緩沖層（?5 nm）來(lái)提高金屬和合金的附著力

• 為了獲得*佳性能，非導(dǎo)電靶必須安裝有銅墊板。請(qǐng)參考下面的指導(dǎo)視頻（＃3）進(jìn)行目標(biāo)鍵合
• MTI提供從A到Z的單晶襯底（單擊Pic＃4進(jìn)行訂購(gòu)） 
• MTI RF等離子濺射鍍膜機(jī)已成功在500°C的Al ₂ O ₃襯底上涂覆ZnO （圖5中的XRD曲線(xiàn)）
• 用EQ-MBT-12-LD心軸彎曲測(cè)試儀測(cè)試薄膜/涂層電*的柔韌性  。（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊Pic.6。）
• 高壓！濺射頭連接到高電壓。為了**起見(jiàn)，操作人員必須在樣品加載和目標(biāo)改變操作之前關(guān)閉RF發(fā)生器。
• 請(qǐng)勿在冷水機(jī)中使用自來(lái)水。與水一起使用冷卻液，去離子水，蒸餾水或抗腐蝕添加劑

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