可變角度激光橢圓儀（型號(hào)：HO-ED-TH-02）旨在滿足現(xiàn)代研究的要求。橢偏法是一種非常靈敏的測(cè)量技術(shù)，可為薄膜計(jì)量提供****的功能。作為一種光學(xué)技術(shù)，橢圓偏振法是無(wú)損的并且接觸較少。薄膜的光學(xué)厚度或折射率可以通過(guò)分析偏振變化來(lái)計(jì)算。
規(guī)格 測(cè)量范圍：1 nm?300 nm 入射角：30°?90°，誤差0.1 DPSS激光：532 nm，5 mW Si光電二*管：5.8 x 5.8 mm有效面積 旋轉(zhuǎn)范圍 偏光鏡：0°?360° 四分之一波：0°?360° 分析儀：0°?360° 激光臂：70°（從水平面起） 探測(cè)器臂：70°（與水平面成直角） 分辨率：0.1度
橢圓偏振法測(cè)量反射或透射時(shí)偏振的變化。通常，橢圓光度法僅在反射設(shè)置中完成。偏振變化的確切性質(zhì)是通過(guò)分析樣品的厚度，復(fù)折射率等特性來(lái)確定的。盡管光學(xué)技術(shù)固有地受衍射限制，但是橢圓偏振法利用相位信息和光的偏振態(tài)，因此可以實(shí)現(xiàn)埃級(jí)分辨率。以*簡(jiǎn)單的形式，該技術(shù)適用于厚度小于一微米到幾納米的薄膜。