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用于光刻的紫外激光寫入系統(tǒng)

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  • 產(chǎn)品名稱:用于光刻的紫外激光寫入系統(tǒng)
  • 產(chǎn)品型號:HO-LWS-PUV
  • 產(chǎn)品展商:holmarc
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹

Holmarc設(shè)計了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器,專門設(shè)計用于為用戶提供*大的自由度,使其可以在光敏層中創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。 系統(tǒng)支持高達(dá)4096級的灰度等級,支持3D光學(xué)結(jié)構(gòu),表面結(jié)構(gòu)以及蒙版項目,使該系統(tǒng)成為用于研發(fā)的理想Litho工具。

產(chǎn)品描述


Holmarc設(shè)計了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器,專門設(shè)計用于為用戶提供*大的自由度,使其可以在光敏層中創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。

系統(tǒng)支持高達(dá)4096級的灰度等級,支持3D光學(xué)結(jié)構(gòu),表面結(jié)構(gòu)以及蒙版項目,使該系統(tǒng)成為用于研發(fā)的理想Litho工具。


激光     GaN激光二*管
    波長     405納米
    空間過濾單元     基于物鏡
    光斑尺寸     1微米(取決于物鏡)
    強度     現(xiàn)場軟件控制的*大3 mW
    光功率反饋單元     是
    焦點控制     軟件可控
    燈光控制     4096級
    XY掃描臺行程     100毫米
    解析度     1微米
    Z軸行程     20毫米
    解析度     1微米



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