簡單介紹
Holmarc設(shè)計(jì)了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器,專門設(shè)計(jì)用于為用戶提供*大的自由度,使其可以在光敏層中創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。 系統(tǒng)支持高達(dá)4096級(jí)的灰度等級(jí),支持3D光學(xué)結(jié)構(gòu),表面結(jié)構(gòu)以及蒙版項(xiàng)目,使該系統(tǒng)成為用于研發(fā)的理想Litho工具。
產(chǎn)品描述
Holmarc設(shè)計(jì)了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器,專門設(shè)計(jì)用于為用戶提供*大的自由度,使其可以在光敏層中創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。
系統(tǒng)支持高達(dá)4096級(jí)的灰度等級(jí),支持3D光學(xué)結(jié)構(gòu),表面結(jié)構(gòu)以及蒙版項(xiàng)目,使該系統(tǒng)成為用于研發(fā)的理想Litho工具。
激光 | : | GaN激光二*管 |
波長 | : | 405納米 |
空間過濾單元 | : | 基于物鏡 |
光斑尺寸 | : | 1微米(取決于物鏡) |
強(qiáng)度 | : | 現(xiàn)場(chǎng)軟件控制的*大3 mW |
光功率反饋單元 | : | 是 |
焦點(diǎn)控制 | : | 軟件可控 |
燈光控制 | : | 4096級(jí) |
XY掃描臺(tái)行程 | : | 100毫米 |
解析度 | : | 1微米 |
Z軸行程 | : | 20毫米 |
解析度 | : | 1微米 |
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