壓電探針臺(tái)將用于測(cè)量振動(dòng)能量收集器結(jié)構(gòu)的壓電信號(hào)。壓電探針臺(tái)包括（i）壓電探針臺(tái)主體框架，（ii）卡盤(pán)，（iii）帶有微操縱器的壓電衰減器支架，（iv）三目顯微鏡，（v）帶有探針**的微操縱器，（vi）樣品支架和其他必不可少的附件安裝在主體框架上。
1.壓電探針臺(tái)的主體框架（1號(hào)）
壓電探針臺(tái)的主體框架具有將壓電衰減器支架安裝到微操縱器，三目顯微鏡，微操縱器和基板上的規(guī)定。基板具有足夠的面積以同時(shí)容納至少四個(gè)微操縱器。基板和真空吸盤(pán)/熱吸盤(pán)的布置將有助于將探針**輕松放置在放置在真空吸盤(pán)/熱吸盤(pán)上的樣品上。基板與帶磁性底座的微操縱器兼容。主體框架允許真空吸盤(pán)/熱吸盤(pán)平臺(tái)在X-YZ方向上自由移動(dòng)。基本單元是堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu)，帶有用于桌面操作的M6螺孔。
2.夾頭
卡盤(pán)具有XYZ移動(dòng)平臺(tái)，XYZ行程為50毫米x 50毫米x 10毫米。卡盤(pán)與基座完全電氣隔離和熱隔離。卡盤(pán)的泄漏電流為100 pA或更小。該產(chǎn)品提供兩種類(lèi)型的卡盤(pán)，一種是真空卡盤(pán)，一種是熱卡盤(pán)。
一種。真空吸盤(pán)（1號(hào)）
真空吸盤(pán)鍍金，直徑為100毫米。真空吸盤(pán)具有通過(guò)真空泵將樣品牢固地保持在吸盤(pán)上的功能。
b。熱卡盤(pán)（1號(hào)）
溫度范圍：室溫至300°C，分辨率≤??±1°C。
直徑：100毫米
熱卡盤(pán)的表面鍍金。帶有數(shù)字顯示的數(shù)字溫度控制器單元隨附了所有必需的電纜和附件。
熱卡盤(pán)能夠?qū)囟缺３衷谠O(shè)定點(diǎn)?6小時(shí)，并且溫度穩(wěn)定性≤Δε±1°C。
3.帶有微操縱器的壓電衰減器支架（1號(hào)）
帶有支架的微操縱器可容納500 gm重量的衰減器。XYZ行程為10×10×10 mm，分辨率為10 um。另外，微操縱器應(yīng)提供螺釘擰緊以機(jī)械方式固定在壓板上。提供了由絕緣材料制成的剛性絕緣棒（Peek），以通過(guò)M6螺孔與衰減器集成在一起。
系統(tǒng)提供了兩種類(lèi)型的此類(lèi)剛性絕緣棒（由Peek制成）。
a）在類(lèi)型1中，剛性絕緣棒（由Peek制造）的一端具有適合與衰減器的M6槽（深度為10 mm）集成的螺紋。絕緣棒的另一端有一個(gè)槽，該槽用于使用金屬螺釘和用于將電連接到SMU的合適的導(dǎo)線固定彈簧加載的鍍金Pogo針尖。系統(tǒng)隨附直徑為1 mm（10 Nos），1.5 mm（10 Nos）和2 mm（10 Nos）的圓形扁平**的Pogo**。系統(tǒng)提供了10根Peek制成的絕緣棒。
b
b）在類(lèi)型2中，絕緣桿（由Peek制成）是彈簧加載的，并且彈簧加載的剛性絕緣桿（由Peek制成）的一端具有適合與衰減器的M6槽（深度為10 mm）集成的螺紋。但是，絕緣棒的另一端具有圓形的平面和拋光表面，其直徑分別為1毫米（10號(hào)），1.5毫米（10號(hào)）和2毫米（10號(hào)）。
4.帶照相機(jī)的三目鏡顯微鏡（1號(hào)）
提供具有旋轉(zhuǎn)和平移運(yùn)動(dòng)的三目顯微鏡，用于觀察工作區(qū)域并將探頭**輕松放置在樣品表面上。提供了一個(gè)帶有合適軟件的基于Windows的顯示系統(tǒng)，用于查看和保存樣本圖像。顯微鏡具有以下規(guī)格：
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光學(xué)系統(tǒng)
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無(wú)限遠(yuǎn)校正（200mm套筒鏡）
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觀察方法
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明場(chǎng)
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照明
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反射（同軸和成角度）
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照明系統(tǒng)
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高亮度白光LED
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鼻架
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旋轉(zhuǎn)，四倍，具有精que確的點(diǎn)擊止動(dòng)
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觀察頭
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Siedentopf三目鏡頭，傾斜30度，IP調(diào)節(jié)48-75 mm
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目鏡
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廣角目鏡，10X，F(xiàn)N = 20mm，屈光度可調(diào)。
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專(zhuān)注
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手冊(cè)
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目標(biāo)
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目標(biāo)
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普萊諾APO 5X
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不適用
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0.18
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西數(shù)
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40毫米（FOV目鏡= 4毫米，F(xiàn)OV CCD = 1.31 x 0.984毫米）
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放大
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目鏡為50倍@相機(jī)為5倍
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相機(jī)規(guī)格
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傳感器尺寸
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1 / 2.5英寸CMOS彩色
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主動(dòng)式成像儀尺寸
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6.55毫米（H）X 4.92毫米（V）
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*高分辨率
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2048 x 1536（3匹）
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**人稱(chēng)射擊
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10 FPS @全分辨率
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像素大小
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3.2 x 3.2微米
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掃描類(lèi)型
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逐行掃描
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快門(mén)式
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電子卷簾門(mén)
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曝光時(shí)間
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0.047毫秒-3000毫秒
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資料格式
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8位RAW，24位BMP
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靈敏度
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> 1.0 V /勒克斯-秒（550 nm）
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光譜范圍
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380-650納米
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信噪比
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43分貝
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動(dòng)態(tài)范圍廣
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61分貝
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定義
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> 850條
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曝光模式
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自動(dòng)/手動(dòng)/區(qū)域
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白平衡
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手動(dòng)/單次/區(qū)域/自動(dòng)
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圖像格式
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RAW / BMP / JPG / PNG
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5.帶有探針**的微操縱器（2個(gè)）
顯微操縱器用于精que確移動(dòng)探針并精que確放置在樣品上進(jìn)行電測(cè)量。在兩個(gè)微操作器中，一個(gè)是左手操作的，另一個(gè)是右手操作的，以便于在樣品上移動(dòng)**。微操作器具有以下規(guī)格：
1）獨(dú)立的XYZ行程：10 x 10 x 10毫米
2）分辨率-10μm; 漏電流-100 pA
3）借助螺絲鎖將探頭固定器牢牢固定在微操作器上。探針支架具有合適的機(jī)制，可將探針牢固地固定在其上。探針支架與壓電探針臺(tái)的微操縱器，基板和基礎(chǔ)單元完全電氣隔離。探頭固定器能夠執(zhí)行低直流和交流（頻率高達(dá)1 MHz或更高）電流測(cè)量。
4）包裝成盒/小包的鍍金鎢**（數(shù)量-10個(gè)），**直徑：50μm，與引用的微操作器**支架兼容。
5）微型操縱器可實(shí)現(xiàn)從探針尖到測(cè)量?jī)x器（例如源測(cè)量單元（SMU）和CV計(jì)）的電氣連接。
6.樣品架（1號(hào)）
樣品架用于電測(cè)量直徑為8毫米至15毫米，厚度為1毫米至5毫米的金屬氧化物顆粒。樣品架由兩個(gè)平行電*組成，其中一個(gè)固定在位置上，另一個(gè)可移動(dòng)以通過(guò)調(diào)節(jié)千分尺與樣品接觸。電*的接觸**為圓形，由銅制成，并帶有正確的布線以連接到SMU。這些接觸**與樣品架的主體隔離。系統(tǒng)隨附直徑為5毫米，7毫米和9毫米的觸點(diǎn)。