壓電探針臺將用于測量振動能量收集器結(jié)構(gòu)的壓電信號。壓電探針臺包括（i）壓電探針臺主體框架，（ii）卡盤，（iii）帶有微操縱器的壓電衰減器支架，（iv）三目顯微鏡，（v）帶有探針**的微操縱器，（vi）樣品支架和其他必不可少的附件安裝在主體框架上。
1.壓電探針臺的主體框架（1號）
壓電探針臺的主體框架具有將壓電衰減器支架安裝到微操縱器，三目顯微鏡，微操縱器和基板上的規(guī)定。基板具有足夠的面積以同時容納至少四個微操縱器。基板和真空吸盤/熱吸盤的布置將有助于將探針**輕松放置在放置在真空吸盤/熱吸盤上的樣品上。基板與帶磁性底座的微操縱器兼容。主體框架允許真空吸盤/熱吸盤平臺在X-YZ方向上自由移動。基本單元是堅固耐用的結(jié)構(gòu)，帶有用于桌面操作的M6螺孔。
2.夾頭
卡盤具有XYZ移動平臺，XYZ行程為50毫米x 50毫米x 10毫米。卡盤與基座完全電氣隔離和熱隔離。卡盤的泄漏電流為100 pA或更小。該產(chǎn)品提供兩種類型的卡盤，一種是真空卡盤，一種是熱卡盤。
一種。真空吸盤（1號）
真空吸盤鍍金，直徑為100毫米。真空吸盤具有通過真空泵將樣品牢固地保持在吸盤上的功能。
b。熱卡盤（1號）
溫度范圍：室溫至300°C，分辨率≤??±1°C。
直徑：100毫米
熱卡盤的表面鍍金。帶有數(shù)字顯示的數(shù)字溫度控制器單元隨附了所有必需的電纜和附件。
熱卡盤能夠?qū)囟缺３衷谠O(shè)定點?6小時，并且溫度穩(wěn)定性≤Δε±1°C。
3.帶有微操縱器的壓電衰減器支架（1號）
帶有支架的微操縱器可容納500 gm重量的衰減器。XYZ行程為10×10×10 mm，分辨率為10 um。另外，微操縱器應(yīng)提供螺釘擰緊以機械方式固定在壓板上。提供了由絕緣材料制成的剛性絕緣棒（Peek），以通過M6螺孔與衰減器集成在一起。
系統(tǒng)提供了兩種類型的此類剛性絕緣棒（由Peek制成）。
a）在類型1中，剛性絕緣棒（由Peek制造）的一端具有適合與衰減器的M6槽（深度為10 mm）集成的螺紋。絕緣棒的另一端有一個槽，該槽用于使用金屬螺釘和用于將電連接到SMU的合適的導(dǎo)線固定彈簧加載的鍍金Pogo針尖。系統(tǒng)隨附直徑為1 mm（10 Nos），1.5 mm（10 Nos）和2 mm（10 Nos）的圓形扁平**的Pogo**。系統(tǒng)提供了10根Peek制成的絕緣棒。
b
b）在類型2中，絕緣桿（由Peek制成）是彈簧加載的，并且彈簧加載的剛性絕緣桿（由Peek制成）的一端具有適合與衰減器的M6槽（深度為10 mm）集成的螺紋。但是，絕緣棒的另一端具有圓形的平面和拋光表面，其直徑分別為1毫米（10號），1.5毫米（10號）和2毫米（10號）。
4.帶照相機的三目鏡顯微鏡（1號）
提供具有旋轉(zhuǎn)和平移運動的三目顯微鏡，用于觀察工作區(qū)域并將探頭**輕松放置在樣品表面上。提供了一個帶有合適軟件的基于Windows的顯示系統(tǒng)，用于查看和保存樣本圖像。顯微鏡具有以下規(guī)格：
|
光學(xué)系統(tǒng)
|
：
|
無限遠校正（200mm套筒鏡）
|
|
觀察方法
|
：
|
明場
|
|
照明
|
：
|
反射（同軸和成角度）
|
|
照明系統(tǒng)
|
：
|
高亮度白光LED
|
|
鼻架
|
：
|
旋轉(zhuǎn)，四倍，具有精que確的點擊止動
|
|
觀察頭
|
：
|
Siedentopf三目鏡頭，傾斜30度，IP調(diào)節(jié)48-75 mm
|
|
目鏡
|
：
|
廣角目鏡，10X，F(xiàn)N = 20mm，屈光度可調(diào)。
|
|
專注
|
：
|
手冊
|
目標
|
目標
|
：
|
普萊諾APO 5X
|
|
不適用
|
：
|
0.18
|
|
西數(shù)
|
：
|
40毫米（FOV目鏡= 4毫米，F(xiàn)OV CCD = 1.31 x 0.984毫米）
|
|
放大
|
：
|
目鏡為50倍@相機為5倍
|
相機規(guī)格
|
傳感器尺寸
|
：
|
1 / 2.5英寸CMOS彩色
|
|
主動式成像儀尺寸
|
：
|
6.55毫米（H）X 4.92毫米（V）
|
|
*高分辨率
|
：
|
2048 x 1536（3匹）
|
|
**人稱射擊
|
：
|
10 FPS @全分辨率
|
|
像素大小
|
：
|
3.2 x 3.2微米
|
|
掃描類型
|
：
|
逐行掃描
|
|
快門式
|
：
|
電子卷簾門
|
|
曝光時間
|
：
|
0.047毫秒-3000毫秒
|
|
資料格式
|
：
|
8位RAW，24位BMP
|
|
靈敏度
|
：
|
> 1.0 V /勒克斯-秒（550 nm）
|
|
光譜范圍
|
：
|
380-650納米
|
|
信噪比
|
：
|
43分貝
|
|
動態(tài)范圍廣
|
：
|
61分貝
|
|
定義
|
：
|
> 850條
|
|
曝光模式
|
：
|
自動/手動/區(qū)域
|
|
白平衡
|
：
|
手動/單次/區(qū)域/自動
|
|
圖像格式
|
：
|
RAW / BMP / JPG / PNG
|
5.帶有探針**的微操縱器（2個）
顯微操縱器用于精que確移動探針并精que確放置在樣品上進行電測量。在兩個微操作器中，一個是左手操作的，另一個是右手操作的，以便于在樣品上移動**。微操作器具有以下規(guī)格：
1）獨立的XYZ行程：10 x 10 x 10毫米
2）分辨率-10μm; 漏電流-100 pA
3）借助螺絲鎖將探頭固定器牢牢固定在微操作器上。探針支架具有合適的機制，可將探針牢固地固定在其上。探針支架與壓電探針臺的微操縱器，基板和基礎(chǔ)單元完全電氣隔離。探頭固定器能夠執(zhí)行低直流和交流（頻率高達1 MHz或更高）電流測量。
4）包裝成盒/小包的鍍金鎢**（數(shù)量-10個），**直徑：50μm，與引用的微操作器**支架兼容。
5）微型操縱器可實現(xiàn)從探針尖到測量儀器（例如源測量單元（SMU）和CV計）的電氣連接。
6.樣品架（1號）
樣品架用于電測量直徑為8毫米至15毫米，厚度為1毫米至5毫米的金屬氧化物顆粒。樣品架由兩個平行電*組成，其中一個固定在位置上，另一個可移動以通過調(diào)節(jié)千分尺與樣品接觸。電*的接觸**為圓形，由銅制成，并帶有正確的布線以連接到SMU。這些接觸**與樣品架的主體隔離。系統(tǒng)隨附直徑為5毫米，7毫米和9毫米的觸點。