Fizeau干涉儀是*簡單，用途*廣泛的干涉儀之一，在平面和球形表面的常規(guī)測量中很受歡迎。它用于測量光學(xué)組件，例如平板，棱鏡，透鏡，或精密金屬零件，例如軸承，密封面或拋光陶瓷。可以使用靜態(tài)條紋分析軟件進(jìn)行測量。干涉儀基本上帶有高光學(xué)質(zhì)量（λ/ 20）參考平面。測試表面的反射會干擾參考平面產(chǎn)生的條紋的反射。條紋的形狀和質(zhì)量取決于測試平板的表面質(zhì)量。使用高分辨率CCD相機(jī)對條紋進(jìn)行數(shù)字化處理。
光學(xué)設(shè)置
空間濾光片組件和正消色差透鏡用于擴(kuò)展和準(zhǔn)直He-Ne激光。在準(zhǔn)直透鏡之后，固定參考平面。光線從參考平面反射回去。立方體分束器放置在擴(kuò)束器附近，該反射鏡將反射的光反射到變焦鏡頭和CCD。該反射的一部分落在用于對準(zhǔn)模式的照相機(jī)1上。來自測試樣品的反射光也會回溯相同的路徑并產(chǎn)生干擾。